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1200℃高溫真空CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S
主要用途：高溫真空CVD設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
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設(shè)備介紹
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合，可以對(duì)多種氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。爐管兩端安裝真空法蘭，可以通過(guò)選配真空泵組來(lái)實(shí)現(xiàn)更高的真空度。爐底安裝一對(duì)滑軌，可用手動(dòng)滑動(dòng)。為取得更快加熱速率，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得更快冷卻速率，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端，是低成本快速熱處理的理想爐子。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度很高，爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)
多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足多種快速燒結(jié)的要求
微電腦PID控制器，操作簡(jiǎn)便操作簡(jiǎn)便，控溫準(zhǔn)確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡(jiǎn)化復(fù)雜的試驗(yàn)過(guò)程，真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行
技術(shù)參數(shù)
| 結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，用于降低爐體表面溫度 | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 工作溫度 | ≤1100°C | |
| 最高溫度 | 1200°C | |
| 最大升溫速率 | 建議10°C/min | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） | |
| 溫控系統(tǒng) | 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過(guò)可控硅 SCR可設(shè)置30段升降溫程序。 | |
| 控溫精度 | +/-1°C | |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管 內(nèi)徑: 72mm x 外徑: 80 mm x 長(zhǎng)度:1000 mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
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| 密封法蘭 | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì)，和閥門通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr | |
| 真空泵 | 真空泵：一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr | |
| 氣體流量計(jì) | 4個(gè)浮子流量計(jì)，可同時(shí)混入4種不同氣體。 四通道控制 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動(dòng)控制 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?！
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。 。