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石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號：KJ-T1050-CVD-LZ
主要用途：該設(shè)備主要用于石墨稀、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴散、氧化、退火等工藝。
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設(shè)備介紹
KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達到1050度,可定制單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空最高可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
產(chǎn)品優(yōu)勢
溫場均衡爐膛采用高純度氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點
微電腦PID控溫采用PID程序化溫控系統(tǒng)，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制
安全保護具有安全互鎖、故障診斷和異常報警功能
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1050-CVD-LZ |
| 爐型結(jié)構(gòu) | 臥式、單管或多管系統(tǒng)自動控制 |
| 適應(yīng)晶片尺寸 | 50--200mm |
| 取片方式 | 自動懸臂石英推拉舟，配合手動取、放片 |
| 最高溫度 | 1050℃ |
| 極限真空度 | 1Pa |
| 抽速 | 抽至極限真空時間15min左右 |
| 更多規(guī)格可根據(jù)需求定制 | |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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