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1200度CVD設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào)：KJ-T1200-S440

主要用途：KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴(kuò)散。該CVD高溫管式爐主要用于大學(xué)，科研機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。

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設(shè)備介紹

KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴(kuò)散。該CVD高溫管式爐主要用于大學(xué)，科研機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

PID智能溫控
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達(dá)到±1℃
高純石英爐管
爐管采用高純石英材質(zhì)，耐高溫耐酸堿腐蝕，高透明材質(zhì)，便于觀察反應(yīng)情況
觸屏智能操控
采用觸屏操作系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)可通過EXCEL輸出

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱		1200度CVD設(shè)備
型號(hào)		KJ-T1200
管式爐部分	顯示	7”液晶觸摸屏
	最高溫度	1200℃
	工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	0~10℃/min
	溫區(qū)長(zhǎng)度	440mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制）
	加熱元件	鉬電阻絲
	熱電偶	N型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管	100 x 1000mm (外徑 x 長(zhǎng)度) （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制）
	爐管	材質(zhì)：石英管
	溫度控制	通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制
	加熱曲線	30 步可編程
	真空法蘭	不銹鋼真空法蘭。法蘭的一端有 1 個(gè)帶刺針閥，安裝有機(jī)械壓力表。法蘭的另一端有一個(gè)帶倒鉤針閥的 KF25 端口
真空泵	旋片真空泵	極限真空 10-3 托。管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。（RM溫度和空管條件）流量：2L/S 包括數(shù)字真空計(jì)
質(zhì)量流量計(jì) 帶液晶觸摸屏控制器	一個(gè)浮子流量計(jì)+五個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 精度為：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮?dú)猓簹怏w流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2：氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4：氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5：氣體流量范圍 0~500 sccm

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主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>

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2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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