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產(chǎn)品型號:KJ-OTF-1200-80*220*3-F3
主要用途:該CVD系統(tǒng)廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域
產(chǎn)品優(yōu)勢
PID程控技術控制電路選用模糊PID程控技術,控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠
操作方便快捷氣路采用快速連接法蘭結(jié)構,提高操作便捷性
穩(wěn)定的真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強,耐沖擊分子泵
| 產(chǎn)品名稱 | 三溫區(qū)CVD系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-OTF-1200-80*220*3-F3 | |
| 加熱系統(tǒng) | 顯示 | LED |
| 最高溫度 | 1200℃ | |
| 工作溫度 | 1100℃ | |
| 升溫速率 | 建議: 0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 3溫區(qū) | |
| 每個區(qū)域的長度 | 220mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | N型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸/材質(zhì) | 80 x 1300mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
| 材料:高純度石英 | ||
| 溫度控制 | 通過SCR功率控制的PID自動控制 | |
| 加熱過程 | 30步可編程 | |
| 真空測量 | 復合數(shù)字真空計 | |
| 真空法蘭 | 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭 | |
| 真空泵系統(tǒng) | 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。 真空泵總成(旋轉(zhuǎn)葉片泵+擴散泵) |
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| 氣路系統(tǒng) | 高精度質(zhì)量流量計 | 3氣路Ar、N2、C2H4氣體 |
| 流量范圍 | 可選(20、30、50、100、200、300、500)SCCM | |
| 工作壓力差范圍 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐壓性 | 3MPa | |
| 更多尺寸可按需求定制 | ||
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!
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