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三溫區(qū)CVD管式爐
產(chǎn)品型號：KJ-TCVD1600-L80LB3
主要用途：該設備適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。主要用于大學，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。
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設備介紹
科佳KJ-TCVD1600-L80LB3是一款高溫CVD管式爐，該設備采用剛玉爐管，工作溫度可達1600℃，可抽真空通氣氛，發(fā)熱元件采用優(yōu)良MoSi2，爐膛采用陶瓷纖維材料，具有安全可靠、操作方便、控溫精度高、保溫效果好、爐溫均勻性高等特點。該設備適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。主要用于大學，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。產(chǎn)品優(yōu)勢
高純氧化鋁纖維爐膛發(fā)熱元件采用優(yōu)良MoSi2，爐膛采用陶瓷纖維材料，保溫性能好，經(jīng)久耐用，抗拉強度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果明顯
雙層外殼結構 配備冷風系統(tǒng)雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風扇，爐體表面溫度安全不燙手，一體式不可打開爐門，保溫效果好
可無人值守情況下操作內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和斷開熱電偶斷開保護； 超溫保護和報警允許在無人值守的情況下操作
技術參數(shù)
| 加熱系統(tǒng)（管式爐） | |
| 最高溫度 | 1700 ℃ |
| 工作溫度 | 1600℃ |
| 顯示 | LED顯示屏 |
| 管徑 | 80mm（外徑）（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 管材 | 剛玉管 |
| 熱區(qū)長度 | 220+220+220mm （其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 |
| 加熱速率 | 建議0-10℃/min |
| 溫度控制 |
● PID自動通過SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角觸發(fā)，限流電阻器。 ● 30個可編程段，用于控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。 ● 內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和熱電偶損壞保護功能。 ● 超溫保護和報警，允許在無人值守的情況下操作。 |
| 熱電偶 |
3個熱電偶（測量和溫度控制功能），位于每個熱區(qū)的中間（管道外側）
1個熱電偶（僅測量溫度），位于管內(nèi)。 |
| 溫控精度 | ±1℃ |
| 爐膛結構 |
雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風扇，用于冷卻爐體表面溫度
一體式不可打開爐門。 |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
| 供氣系統(tǒng) | |
| 4通道質(zhì)子流量計： | 一個氣體混合罐安裝在底部殼體上，帶有液體釋放閥 底殼左側安裝4個不銹鋼針閥，控制4種氣體混合 |
| 真空泵+真空計系統(tǒng) | |
| 真空泵+真空計 | 配備旋轉葉片泵，使真空度達到10Pa（冷卻狀態(tài)） |
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?！
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