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KJ150-XK實驗型氧化擴散爐
產(chǎn)品型號：KJ150-XK
主要用途：鄭州科佳KJ150-XK是一款管式擴散氧化爐，適用于企業(yè)研發(fā)、大學及科研院所的科研與教學?？蓾M足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。
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設(shè)備介紹
鄭州科佳KJ150-XK是一款管式擴散氧化爐，適用于企業(yè)研發(fā)、大學及科研院所的科研與教學?？蓾M足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。產(chǎn)品特點
1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3、具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；
4、具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5、具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間；
6、恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能；
8、可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。
產(chǎn)品優(yōu)勢
工藝過程自動化采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化
多段智能PID程序控溫控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)，可編程30步
操作簡單快捷具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)
技術(shù)參數(shù)
| 實驗型氧化擴散爐 | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ150-XK |
| 工作溫度 | ≦1300℃ |
| 應用晶片尺寸 | 2~8英寸圓片（更多規(guī)格可按需求定制） |
| 可配工藝管數(shù)量 | 1~2管/臺 |
| 溫度變化速率 | 最大升溫速率10℃/min，最大降溫速率5℃/min |
| 安全預警 | 具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能 |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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