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PECVD帶尾氣處理裝置
產(chǎn)品型號：KJ-T1200-PECVD
主要用途：我公司根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)了此設(shè)備，設(shè)備設(shè)計(jì)滿足各類薄膜研究的需求。
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設(shè)備介紹
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是一種利用輝光放電（等離子體）反應(yīng)生成含有氣態(tài)物質(zhì)的薄膜的薄膜生長技術(shù)。該系統(tǒng)由高功率射頻電源、真空系統(tǒng)、管式爐組成，配備噴淋塔、活性炭箱，滿足尾氣處理的需要。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。我公司根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)了此設(shè)備，設(shè)備設(shè)計(jì)滿足各類薄膜研究的需求。
產(chǎn)品優(yōu)勢
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
帶尾氣處理裝置配備噴淋塔、活性炭箱，離心吹掃機(jī)等尾氣處理裝置，滿足尾氣處理的需要
可通保護(hù)氣氛法蘭上帶有進(jìn)出氣旋轉(zhuǎn)接頭，可以通入氮?dú)?、氬氣等惰性保護(hù)氣體，可在氣氛環(huán)境下使用
安全防護(hù)功能安全防護(hù)，具有超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動報(bào)警保護(hù)功能，操作安全可靠
沉積效果好等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜
智能多段PID可編程溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | PECVD |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-PECVD |
| 爐膛結(jié)構(gòu) | 分體式，上部可打開，方便拿取爐管 |
| 爐管尺寸 | 直徑Φ100mm，長1500mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 石英爐管 |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱速率 | 建議10℃/min，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)工藝進(jìn)行調(diào)節(jié) |
| 溫度測試元件 | N型熱電偶 |
| 控溫系統(tǒng) | 采用智能化多段PID可編程控制 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序； 1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置多段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動切斷 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 密封方式 | 真空法蘭的密封方式，密封效果好 |
| 冷卻方式 | 空氣冷卻 |
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵系統(tǒng)： 真空度：10 -3 Torr~10 -4 Torr。 |
| 等離子電源系統(tǒng) | 功率范圍 0-500W（連續(xù)可調(diào)） 工作頻率 13.56MHZ+0.005% 功率穩(wěn)定度±1% 最大反射功率 200W |
| 質(zhì)量流量計(jì)? (液晶觸摸屏) |
兩臺精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 精度為：±1.5% FS 氮?dú)庥?MFC 1 ：氣體流量范圍為 0~500sccm 氬氣用 MFC 2 ：氣體流量范圍為 0~500sccm |
| 廢氣處理裝備 | 2套噴淋塔 2套活性炭箱 1臺離心吹掃 |
| 注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，使用時(shí)會更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體，易造成法蘭等不銹鋼件的損壞 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn) 不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。 若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù) 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
帶尾氣處理裝置PECVD工廠實(shí)拍圖
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?！
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