鏈帶式氣氛燒結(jié)爐中，Cu與O在適宜的溫度及適宜的氧含量條件下發(fā)生如下化學(xué)反應(yīng)：Cu＋O2→Cu2O，其實這就已經(jīng)完成了Cu的預(yù)氧化，但其實這個過程中合適的氧含量及適宜的溫度是很重要的，針對這一點，設(shè)備配備的是兩個高精度的氮氧質(zhì)量流量計，這兩個質(zhì)量流量計分別接在混配箱的兩個接口上（混配箱：預(yù)氧化時的氮氧混配裝置），同時，進入到爐膛內(nèi)各溫區(qū)的氣體合成一路與混配箱的另一個接口相連。wLt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
　　氮氧經(jīng)過混配，進入到爐膛內(nèi)各個節(jié)點，高精度的質(zhì)量流量計保證了爐膛內(nèi)氧含量的可調(diào)節(jié)性。Cu與O2反應(yīng)在條件適宜時，形成Cu于Cu2O的共晶相，這就為DBC的高溫燒結(jié)奠定了基礎(chǔ)。wLt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
　　爐膛里面實際溫度與表現(xiàn)溫度相差10℃左右，爐膛真實的溫度在高溫平臺為1079～1081℃，需12.5min左右，在這樣的工藝曲線條件下，基片附著良好，測試條測試的附著力也在要求范圍內(nèi)（銅片與Al2O3基板的附著力大于60N／cm，拉力速度為50mm／min）。wLt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
　　銅片與Al2O3基板單面附著后，表面會有一個彎曲的弧度，這是由于Cu與Al2O3的膨脹系數(shù)不同造成的。當進行第二面附著時，就會消除由于膨脹系數(shù)不同而造成的彎曲，整個表面會很平整。銅片與陶瓷基板之間無任何氣泡。wLt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司