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真空爐擴散泵抽不上真空
作者:河南鴻爐 來源：原創(chuàng) 發(fā)表時間：2018-03-12 14:14:38
真空爐擴散泵抽不上真空是什么原因造成的？如何解決？
1.擴散泵或主閥氣缸有泄漏；
2.爐腔有泄漏；
打開閥門后，真空爐的真空度不降反升。說明確實有漏。反復啟動是因為擴散泵本身有一個啟動的真空度要求，進口的國產(chǎn)的泵都有。真空度一般在2pa以內(nèi)擴散泵才可以啟動。所以真空度只要超過2pa以上，那這個高真空閥肯定就會關閉，所以問題就出在高真空閥上。使用真空氦氣檢漏就可以查出問題的所在。
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