分子泵主要應(yīng)用于真空爐，CVD設(shè)備和PECVD設(shè)備的抽真空，它的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動(dòng)量傳遞遠(yuǎn)離，使分子定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
分子泵在使用中應(yīng)注意以下事項(xiàng)：wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、分子泵不能在前級泵工作時(shí)（前級管道接通）和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵內(nèi)；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、分子泵系統(tǒng)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣，絕不能從泵的前級管路進(jìn)行充氣；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、分子泵工作時(shí)嚴(yán)禁大氣量氣體進(jìn)入泵內(nèi)，否則會(huì)導(dǎo)致分子泵損壞；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的精密設(shè)備，抗振動(dòng)或沖擊能力較弱，因此應(yīng)避免與振動(dòng)或沖擊強(qiáng)烈設(shè)備接觸；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
5、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)轉(zhuǎn)；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
6、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
7、分子泵不宜長時(shí)間保持真空狀態(tài)，防止前級泵油反擴(kuò)散到分子泵內(nèi)；wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
8、分子泵停止后，應(yīng)關(guān)閉冷卻水，以防止在泵內(nèi)形成冷凝水。wRq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司