pecvd系統(tǒng)的構(gòu)成部分和適用范圍
等離子射頻電源主要用于高端院校實驗室。半導(dǎo)體,太陽能光伏,手機行業(yè),汽車行業(yè),橡塑行業(yè)等。它可以和
CVD設(shè)備一起組合成
PECVD系統(tǒng)。
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