混氣PECVD設(shè)備

設(shè)備介紹

         KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴(kuò)散。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 成品質(zhì)量好

  具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

• 更好的沉積效率

  PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

• 所需溫度更低

  PECVD對(duì)于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

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技術(shù)參數(shù)

型號(hào)		KJ-T1200 PECVD
等離子射頻電源	輸出功率	5 -500W可調(diào)，均勻性 ± 1%
	RF頻率	13.56 MHz ±0.005%
	反射功率	最大 200W
	冷卻	空氣冷卻
管式爐部分	顯示	LED
	形式	分體式和上部可打開
	連續(xù)工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	建議：0~10℃/min
	溫區(qū)長度	500mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制）
	加熱元件	含鉬電阻絲
	熱電偶	N型
	溫度均勻性	±1℃
	爐管尺寸	200m外徑 *長度1600mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制）
		材質(zhì)：石英管
	溫度控制	通SCR功率控制進(jìn)行 PID 自動(dòng)控制
	加熱曲線	30步可編程
	法蘭	不銹鋼帶閥真空法蘭
真空泵	旋片真空泵 流量：4L/S 旋片式真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪的推車。
質(zhì)量流量計(jì)	三款精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據(jù)您的要求） 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥，手動(dòng)控制3種氣體混合
真空計(jì)	數(shù)字真空計(jì)

 
 

 

 

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  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>