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2、整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度達到最高點,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保。
4、超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠具有多重防護功能。
5、PECVD管式爐系統(tǒng)由:射頻電源,管式爐加熱區(qū)系統(tǒng),質(zhì)子流量計供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣體定量系 統(tǒng)組成。" />
產(chǎn)品型號:KJ-PECVD-D1
主要用途:等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜技術(shù)生長的一種系的制備技術(shù)。我公司依據(jù)實驗要求設(shè)計制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。
產(chǎn)品優(yōu)勢
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
整機能耗低爐膛采用節(jié)能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保
多重安全防護超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠具有多重防護功能
| 產(chǎn)品名稱 | PECVD | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-PECVD | |
| 500W 射頻電源 | ||
| 匹配功率范圍 | 0-500W+1%可調(diào) | |
| 工作頻率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
| 反射功率 | 最大200W | |
| 冷卻 | 風冷 | |
| 管式加熱系統(tǒng) | ||
| 滑道 | 帶滑道,可手動滑動爐膛,實現(xiàn)快速升溫或冷卻功能 | |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
| 爐管尺寸 | 60mm x1600mm (外徑x長) (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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| 爐管材質(zhì) | 高純石英管 | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 溫控系統(tǒng) | 智能化30段PID微電腦可編程自動控制 | |
| 溫控精度 | ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能) | |
| 加熱速率 | 建議0~10℃/min | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 可通氣體 | 氮氣、氬氣等惰性氣體 | |
| 測溫元件 | 熱電偶測溫 | |
| 殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風冷系統(tǒng) | |
| 真空法蘭 | 不銹鋼法蘭,帶進出氣口 | |
| 供氣系統(tǒng) | 四路精密質(zhì)子流量計: 測量精度:±1.5% F.S. 通過觸屏(定制)來調(diào)節(jié)氣體流量 |
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| 真空系統(tǒng) | 旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達10pa, 真空計:數(shù)顯真空計實時顯示真空度,精度高。 |
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| 控壓系統(tǒng) | 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設(shè)計) | |
| 自動化控制 | 觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質(zhì)量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設(shè)好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。 | |

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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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