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搖臂式集成控制PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號：KJ-PECVD-L
主要用途：科佳高真空PECVD設(shè)備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長，，如SiOx、SiNx、SiOxNy和非晶硅（a-Si:H）。
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設(shè)備介紹
科佳高真空PECVD設(shè)備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài)，等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長。產(chǎn)品優(yōu)勢
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
所需溫度更低PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
成品質(zhì)量好具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 搖臂式集成控制PECVD設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-PECVD |
| 第一部分滑軌管式爐部分 | |
| 爐管尺寸 | Φ25mmX1600mm（最終長度取決于最終設(shè)計） |
| 爐管材料 | 石英管 |
| 加熱區(qū) | 200+200mm (雙溫區(qū)) |
| 工作溫度 | ≤1100°C |
| 最高溫度 | 1200°C |
| 溫度控制方法 | N型熱電偶 |
| 控制方式 | 觸摸屏控制，帶獨立搖臂，可根據(jù)實際需要調(diào)節(jié)溫控屏角度，使用更方便 |
| 溫度控制精度 | ±1℃ |
| 溫度控制保護 | 具有過熱和燒毀保護功能 |
| 加熱速率 | 建議≤10ºC/min，最大20ºC/min |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 工作電壓 | 交流220V單相50HZ/60HZ（電路電壓用戶可選擇定制） |
| 加熱功率 | 4KW |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 爐膛結(jié)構(gòu) | 爐體有滑軌，可實現(xiàn)快速加熱和冷卻 |
| 真空法蘭 | 標(biāo)準(zhǔn)配置配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
| 密封系統(tǒng) | 爐管和法蘭采用硅膠O型圈擠壓密封，拆卸方便，可反復(fù)拆卸，氣密性好。 |
| 外殼 | 碳鋼或不銹鋼外殼 |
| 可選 | 輔助冷卻風(fēng)扇 |
| 第二部分真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 真空系統(tǒng) |
| 主要參數(shù) | 1.采用中國品牌高真空分子泵組，極限真空度可達6.7x10-3pa（空冷狀態(tài)） 2.KF25快速連接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥和法蘭，真空泵連接； 3、數(shù)字真空顯示，測量范圍為5×10-50-150mbar，測量精度高 |
| 第三部分供氣系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 四通質(zhì)量流量計 |
| 主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計：觸摸屏控制、數(shù)字顯示、自動控制 1、流量范圍：MFC 1-MFC3:10-1000sccm可調(diào) MFC1:CH4 0-10sccm MFC2:H2 0-200sccm MFC3:0-200sccm MFC4:0-300sccm 控制精度：±1.5%F.S。 2.一個混合罐 3.供氣系統(tǒng)左側(cè)安裝4個不銹鋼針閥，可手動控制4種氣體； 4.進風(fēng)口和出風(fēng)口：4進1出 流量控制：LCD觸摸屏 注：不支持液體或腐蝕氣體。 |
| 第四部分等離子電源部分 | |
| 名稱 | 500W等離子電源 |
| 功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調(diào)） |
| 工作頻率 | 13.56兆赫+0.05% |
| 操作模式 | 連續(xù)輸出 |
| RF輸出阻抗接口 | N型，內(nèi)螺紋（50Ω） |
| 功率穩(wěn)定性 | ≤2W |
| 電源保護設(shè)置 | 直流過流保護、功率放大器過溫保護、反射功率保護 |
| 冷卻法 | 空氣冷卻 |
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主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！??！
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