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管式PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-T1200
主要用途：該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
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設(shè)備介紹
PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
工作原理
PECVD技術(shù)是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。在反應(yīng)過(guò)程中，反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔，逐漸擴(kuò)散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場(chǎng)作用下，反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物，這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面，生成固態(tài)膜的晶核，晶核逐漸生長(zhǎng)成島狀物，島狀物繼續(xù)生長(zhǎng)成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中，各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離，在真空泵的作用下從出口排出。其工藝原理示意圖如圖1所示。
PECVD設(shè)備工作原理示意圖
基本結(jié)構(gòu)
PECVD設(shè)備主要由真空和壓力控制系統(tǒng)、淀積系統(tǒng)、氣體及流量控制、系統(tǒng)安全保護(hù)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制等部分組成。其設(shè)備結(jié)構(gòu)框圖如下圖所示。
PECVD結(jié)構(gòu)示意圖
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、加熱元件采用摻鉬合金加熱絲，爐膛保溫保溫材料采用氧化鋁陶瓷纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強(qiáng)度高，無(wú)雜球，純度高，節(jié)能效果明顯。
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作，整機(jī)能耗明顯低于傳統(tǒng)產(chǎn)品，節(jié)能環(huán)保。
4、爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表，爐子加熱狀態(tài)一目了。
5、超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作，整機(jī)能耗明顯低于傳統(tǒng)產(chǎn)品，節(jié)能環(huán)保。
4、爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表，爐子加熱狀態(tài)一目了。
5、超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 管式PECVD系統(tǒng) |
| 滑道管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200 |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管尺寸 | 直徑120*1600mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 工作溫度 | ≦1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 測(cè)溫元件 | N型熱電偶 |
| 溫控系統(tǒng) | 30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制 |
| 保溫溫控精度 | ±1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 | 0-10℃/min |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 爐膛材料 | 采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好 |
| 爐 管 | 高純石英管 |
| 法 蘭 | 304不銹鋼密封法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥，方便拆卸，放取材料 |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 厚鋼板雙向滑軌，可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng)，達(dá)到快速升溫和降溫 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 旋片泵 |
| 主要參數(shù) | 極限真空度10Pa（包含KF25接口、真空擋板閥和可移動(dòng)箱體） |
| 真空顯示 | 電阻數(shù)顯真空計(jì)，顯示范圍標(biāo)準(zhǔn)大氣壓--10-1pa |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
| 氣路 | 四路 |
| 流量控制 | 數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨(dú)控制，氣體流量自動(dòng)控制 |
| 進(jìn)出氣口 | 四進(jìn)一出，內(nèi)置精密混氣罐 |
| 鏈接方式 | 雙卡套接頭 |
| 流量范圍 | MFC1-MFC4：0-500sccm（量程可選） |
| 控制精度 | ±1.5%F.S左右，量程不同，略有差別 |
| 等離子射頻器部分 | |
| 名稱 | 射頻自動(dòng)匹配器 |
| 匹配功率范圍 | 0-500W |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 | ＜3W |
| 匹配時(shí)間 | ＜3S |
| 傳輸效率 | ＞90% |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?！
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